Especificação 1: Pureza ≥99,5%, impurezas metálicas totais ≤500 ppb
Especificação 2: Pureza ≥99,9%, impureza metálica individual ≤10 ppb
| Name | Imidazo[4,5-d]Imidazole-2,5(1H,3H)-dione, tetrahydro-1,3,4,6-tetrakis(methoxymethyl)-3a-methyl-6a-phenyl- |
| Número CAS | 721969-01-3 |
| Fórmula molecular | C₁₉H₂₈N₄O₆ |
| Fórmula estrutural | ![]() |
| Aplicações | Aplicado em materiais semicondutores, fotorresistes e nas áreas de fotorresistes ArF e KrF. |
| Pureza | Grau 1: ≥99% |
| Grau 2: ≥99%, impurezas metálicas totais ≤50 ppb | |
| Especificação de embalagem | kg/saco, 25 kg/tambor |
Em semicondutores e fotorresistes, é utilizado especificamente como reticulante de ultra-alta pureza em formulações de fotorresistes ArF e KrF para a fabricação de chips em nós tecnológicos avançados.
Q1: Quais graus de ultra-alta pureza são oferecidos para fotorresistes ArF/KrF?
R: Duas especificações: ≥99,5% (impurezas totais ≤500 ppb) e ≥99,9% (impureza metálica individual ≤10 ppb).
Q2: Quais instrumentos analíticos são usados para testar metais traço?
R: Utiliza-se ICP-MS de alta sensibilidade para análise multielementar de metais traço.
Q3: Como solicitar amostras sob um NDA?
R: Após a assinatura de um NDA, as amostras de fotorresiste de ultra-alta pureza são enviadas em até 5 dias úteis.
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